3月7日,“光刻机巨头ASML被传离开荷兰”相关话题登上微博热搜。
据荷兰当地相关媒体报道,因荷兰政府的反移民政策倾向,光刻机巨头阿斯麦(ASML)正计划搬离荷兰,目前,阿斯麦已向荷兰政府提出了意向,表示将有可能在其他地方扩张或迁移,倾向于法国。对此,直线电机生产厂家 小编了解到,荷兰政府已成立了一个名为“贝多芬计划”的特别工作组,以探索阻止阿斯麦离开的方法。
说到阿斯麦,众所周知, 阿斯麦是知名的光刻设备供应商之一,该公司提供的光刻系统主要用于制造复杂的集成电路,一台设备高达几十亿。
而大家知道吗,直线电机与光刻机息息相关。直线电机因具备高速度、高精度等特点,被大力引入光刻机中作为驱动装置。直线电机主要用在光刻机掩模台系统中,直线电机运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对定位精度以及速度稳定性有很高要求,在稳定基础上追求时间的优化。
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