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激光微纳光刻直写设备用直线电机案例!

返回列表 来源: 发布日期: 2020.07.18

        近几年我们机构一直在致力于研究激光微纳光刻直写技术,希望在这方面能有所建树,从而打破光刻技术被海外垄断的局面,而业内人士都知道,直线电机是光刻设备的核心部件之一,所以我们在直线电机的选择上可谓“千挑万选 ,同茂提供的直线电机产品与我们的需求高度契合,该产品运行平滑,速度波动小,尤其适合于扫描、微纳光刻直写、直写导波管、晶圆影切、AOI高精度缺陷检测、倒装键合等各种高精度应用场景,对我们的研究起到了积极的推动作用。

北京航宇直线电机模组案例!

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