音圈电机模组被大力运用于光刻机掩模台系统

       音圈电机模组 被大力运用于光刻机掩模台系统。作为芯片制造的核心设备之一，光刻机对芯片生产的工艺有着决定性影响。

　　据悉，光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。其中，生产芯片的High End光刻机是中国在半导体设备制造上的大短板。

　　生产芯片的光刻机又根据工艺分为High End光刻机和Medium and low end光刻机，虽然在High End光刻机上被荷兰的阿斯麦所垄断，但在Medium and low end光刻机方面中国的技术已经较为成熟，且不断在向High End光刻机突破。

　　拿上海微电子装备股份有限公司来说，近几年，其先后推出了IC前道制造光刻机SSX600系列光刻机、IC后道先进封装SSB500系列光刻机、LED制造SSB300系列光刻机、TFT曝光SSB200系列光刻机。

　　划重点，上海微电子装备股份有限公司是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈电机模组用于产品中，那音圈电机模组在光刻机中具体作用是什么？音圈电机模组主要用于光刻机掩模台系统，在该系统中音圈电机模组运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机模组系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

　　昆山同茂电子有限公司深耕音圈电机模组领域十余年，同茂造音圈电机模组均采用全新通用化设计，模块化结构集成音圈电机，具有高度的灵活性，适用于各种控制方式。

        该文章源于昆山同茂电子有限公司 (http://www.sztmmotor.com/)原创，转载请注明出处。