音圈电机模组在主流光刻掩模台系统中的应用

光刻机是芯片智造的核心设备之一，也是当下尤为复杂的精密仪器之一。正因为此，荷兰光刻机智造商阿斯麦通研制的EUV光刻机才会“千金难求”。

很多人都对光刻机有所耳闻，但其实不同光刻机的用途并不一样。像上文提及的EUV光刻机则是用于生产芯片的光刻机，此外还有封装芯片的光刻机以及用于LED 制造领域的投影光刻机。

近几年，我国本土企业在光刻机的研制方面正一步一个脚印地稳步前进，拿上海微电子装备股份有限公司来说，近几年，其先后推出了IC前道制造光刻机SSX600 系列光刻机、IC后道先进封装SSB500系列光刻机、LED 制造SSB300系列光刻机、TFT曝光SSB200 系列光刻机。

划重点，上海微电子装备股份有限公司是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈电机模组用于产品中，那音圈电机模组在光刻机中具体作用是什么？音圈电机模组主要用于光刻机掩模台系统，在该系统中音圈电机模组运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机模组 系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

昆山同茂电子有限公司是一家集音圈电机模组 研发、生产和销售为一体的高新技术企业，同茂自研自产自销的音圈电机模组均采用欧美技术标准和加工工艺，具备高性能、高质量，欢迎多多关注。

该文章源于昆山同茂电子有限公司(http://www.sztmmotor.com/)原创，转载请注明出处。