同茂造音圈电机在光刻机产品中已有应用

　　同茂造音圈电机在光刻机产品中已有应用。在老美将我国华为、中芯等名企列入“实体名单”的大背景下，光刻机成为2020的核心关键词之一。

　　而光刻机，确切地说是高层次的光刻机一直是我国的短板，因为这类光刻机的生产工序非常复杂，加工技艺也有着严苛要求，此外，其还拥有包括音圈电机在内的一系列先进零部件。

　　抛却高层次的光刻机不说，其实我国在中低端光刻机方面已有成熟的经验，其中在这方面拥有“话语权”的便是上海微电子，在此，顺便重点说明一下，上海微电子是咱昆山同茂电子有限公司的战略合作伙伴，同茂造高性能音圈电机在上海微电子的光刻机产品中被大力运用。

　　那音圈电机在光刻机中主要扮演什么角色呢？音圈电机主要用在光刻机掩模台系统中，音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有很高要求，在稳定基础上追求时间的优化。

　　未来，昆山同茂电子有限公司将继续致力于光刻机用音圈电机的研发、生产，为中国光刻机的突破，摆脱外国“卡脖子”的命运贡献一份力量。

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